簡(jiǎn)單介紹：無(wú)塵高溫試驗箱,潔凈烘箱,無(wú)塵烤箱,百級無(wú)塵烘箱,無(wú)塵干燥箱,百級無(wú)塵烘箱,100級潔凈烤箱,無(wú)塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

產(chǎn)品描述：無(wú)塵高溫試驗箱,潔凈烘箱,無(wú)塵烤箱,百級無(wú)塵烘箱,無(wú)塵干燥箱,百級無(wú)塵烘箱,100級潔凈烤箱
 
無(wú)塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
 
一．用途:
PVC無(wú)塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
 
二．特點(diǎn)：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(mén)(特殊風(fēng)道設計)方向送風(fēng)，過(guò)濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門(mén))
4.強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結構，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到*佳溫度控制精度。

三．產(chǎn)品技術(shù)參數：
1.主要技術(shù)指標：
   無(wú)塵等級：Class 100;                   溫度范圍： 60～ +300℃；
   溫度均勻度：200℃±4℃;             溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）        
   溫控精度：±0.1℃;                        工作尺寸：W800×D600×H1300         
   電源：380v , 50Hz，15KW         網(wǎng)板：2塊（高度可調節)

潔凈度100級的潔凈熱處理
HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實(shí)現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。*小限度控制風(fēng)速距離。
M計裝可編程控制
1模式20步驟，*多可做10個(gè)模式。溫度上升·下降斜率設定程序的重復次數在1-999次間設定。
簡(jiǎn)單操作的標準計裝
標準配置定值運行模式以及自動(dòng)啟動(dòng)·自動(dòng)停止等可設定動(dòng)作的程序運行。標準配置溫度過(guò)升防止器